激(ji)光(guang)位(wei)移傳感(gan)器是(shi)一種采(cai)用激(ji)光(guang)干(gan)涉測(ce)(ce)量(liang)原理的高精度測(ce)(ce)量(liang)儀器。它通過測(ce)(ce)量(liang)被測(ce)(ce)物(wu)體表(biao)面與(yu)(yu)激(ji)光(guang)束反射或散射后(hou)形成(cheng)的干(gan)涉圖案(an)，進而精確(que)計算出被測(ce)(ce)物(wu)體與(yu)(yu)傳感(gan)器之(zhi)間的距離。
激(ji)光位(wei)移傳(chuan)感器的(de)(de)測量(liang)(liang)精度非常高(gao)，根據市場上(shang)主(zhu)流的(de)(de)激(ji)光位(wei)移傳(chuan)感器數據，其測量(liang)(liang)精度可(ke)以達(da)到(dao)0.1微米甚至(zhi)更(geng)高(gao)。不(bu)過，測量(liang)(liang)精度可(ke)能(neng)(neng)受到(dao)多種因(yin)素(su)的(de)(de)影響(xiang)，包括(kuo)測量(liang)(liang)范(fan)圍(wei)、環境因(yin)素(su)（如(ru)震動(dong)、溫度等）、激(ji)光束的(de)(de)直線度、相干性(xing)、波長穩定性(xing)、機(ji)械結構的(de)(de)穩定性(xing)等。一般來(lai)說(shuo)，在測量(liang)(liang)范(fan)圍(wei)內，隨著距離的(de)(de)增加，測量(liang)(liang)精度可(ke)能(neng)(neng)會下降(jiang)。
此外，激(ji)光位(wei)移傳感器具有高(gao)精度(du)(du)、高(gao)靈敏度(du)(du)、非(fei)接觸式測量(liang)等優(you)點，因此廣泛(fan)應(ying)用(yong)于(yu)機械制(zhi)造(zao)、自動化控(kong)制(zhi)、精密儀器、航空(kong)航天等領域，如用(yong)于(yu)機床加(jia)工(gong)中的(de)(de)位(wei)置檢測、工(gong)件的(de)(de)精密測量(liang)、機器人的(de)(de)軌跡控(kong)制(zhi)、飛行器的(de)(de)姿態控(kong)制(zhi)等。
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